Đặc điểm kỹ thuật sản phẩm
| Mục | Mục lục | ||
| CF4, ％(V/V) ≥ | 99,999 | 99,995 | 99,99 |
| N2, 10-6(V/V) ≤ | 4 | 20 | 40 |
| O2, 10-6(V/V) ≤ | 1 | 5 | 10 |
| CO2, 10-6(V/V) ≤ | 1 | 5 | 10 |
| CO, 10-6(V/V) ≤ | 0,3 | 0,5 | 1 |
| SF6, 10-6(V/V) ≤ | 1 | 1 | 5 |
| H2Ồ, 10-6(V/V) ≤ | 1 | 5 | 10 |
| HF, 10-6(V/V) ≤ | 0,1 | 0,3 | 0,3 |
| TFC(CH2F2、CHF3,C2F3,C3F8),10-6(V/V) ≤ | 1 | 10 | 30 |
| trang/phút (V/V) ≤ | 10 | 50 | 100 |
| Số xi lanh | CHẤM/48,8 L | CHẤM/47L | 40L | 10L | 4L |
| Số van | CGA580, CGA590, CGA320, DISS716 | ||||
