Ürün Detayları
| Safsızlıklar | NF3≥%99,995 Hac.% | NF3≥%99,99 Hacim% | NF3≥%99,98 Hacim% | NF3≥%99,9 Hac.% |
| CF4 | ≤20 Hac.ppm | ≤40 Hac.ppm | ≤100 Hac.ppm | ≤500 Hac.ppm |
| N2 | ≤5 Hacimppm | ≤5 Hacimppm | ≤10 Hac.ppm | ≤50 Hac.ppm |
| O2+Ar | ≤3 Hac.ppm | ≤5 Hacimppm | ≤10 Hac.ppm | ≤50 Hac.ppm |
| CO2 | ≤1 Hac.ppm | ≤5 Hacimppm | ≤10 Hac.ppm | ≤10 Hac.ppm |
| H2O | ≤1 Hac.ppm | ≤1 Hac.ppm | ≤1 Hac.ppm | ≤1 Hac.ppm |
| HF | ≤1 Hac.ppm | ≤1 Hac.ppm | ≤1 Hac.ppm | ≤1 Hac.ppm |
| SF6 | ≤1 Hac.ppm | ≤2 Hac.ppm | ≤2 Hac.ppm | ≤25 Hac.ppm |
| N2O | ≤1 Hac.ppm | ≤5 Hacimppm | ≤10 Hac.ppm | ≤10 Hac.ppm |
| CO | ≤0,5 Hacimppm | ≤5 Hacimppm | ≤10 Hac.ppm | ≤10 Hac.ppm |
Paket
| Ürün | Azot Triflorür NF3 Sıvı | |
| Paket Boyutu | 44Ltr Silindir | 440Ltr Silindir İZO Tankı |
| Net Ağırlık/Silindir Dolum | 20Kg | 200Kg |
| 20'lik Konteynerde Yüklenen Adet | 200 Silindir | 20 Silindir |
| Toplam net ağırlık | 4 Ton | 4 Ton |
| Silindir Dara Ağırlığı | 50Kg | 240Kg |
| Kapak | CGA/DISS640 | |
