제품 세부 정보
| 불순물 | NF3≥99.995% Vol.% | NF3≥99.99% Vol.% | NF3≥99.98% Vol.% | NF3≥99.9% Vol.% |
| CF4 | 20Vol.ppm 이하 | 40Vol.ppm 이하 | 100Vol.ppm 이하 | ≤500 Vol.ppm |
| N2 | ≤5 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | 10Vol.ppm 이하 | ≤50 Vol.ppm |
| O2+Ar | ≤3 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | 10Vol.ppm 이하 | ≤50 Vol.ppm |
| CO2 | ≤1 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | 10Vol.ppm 이하 | 10Vol.ppm 이하 |
| H2O | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm |
| HF | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm |
| SF6 | ≤1 Vol.ppm | ≤2 Vol.ppm | ≤2 Vol.ppm | 25Vol.ppm 이하 |
| N2O | ≤1 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | 10Vol.ppm 이하 | 10Vol.ppm 이하 |
| CO | ≤0.5 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | 10Vol.ppm 이하 | 10Vol.ppm 이하 |
패키지
| 제품 | 삼불화질소 NF3 액체 | |
| 패키지 크기 | 44Ltr 실린더 | 440Ltr 실린더 ISO 탱크 |
| 채우는 순중량/Cyl | 20Kg | 200Kg |
| 20'컨테이너에 적재된 수량 | 200 실린더 | 20실 |
| 총 순중량 | 4톤 | 4톤 |
| 실린더 용기 중량 | 50Kg | 240Kg |
| 판막 | CGA/DIS640 | |
