製品仕様書
| アイテム | 索引 | ||
| CF4，％（V/V）≧ | 99.999 | 99.995 | 99.99 |
| N2，10-6(V/V) ≤ | 4 | 20 | 40 |
| O2，10-6(V/V) ≤ | 1 | 5 | 10 |
| CO2，10-6(V/V) ≤ | 1 | 5 | 10 |
| CO、10-6(V/V) ≤ | 0.3 | 0.5 | 1 |
| SF6，10-6(V/V) ≤ | 1 | 1 | 5 |
| H2お、10-6(V/V) ≤ | 1 | 5 | 10 |
| HF、10-6(V/V) ≤ | 0.1 | 0.3 | 0.3 |
| TFC(CH2F2、スイスフラン3、C2F3、C3F8)，10-6(V/V) ≤ | 1 | 10 | 30 |
| ppm (V/V) ≤ | 10 | 50 | 100 |
| シリンダーNo. | DOT/48.8L | ドット/47L | 40L | 10L | 4L |
| バルブNo. | CGA580、CGA590、CGA320、DISS716 | ||||
