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Index

CF₄， ％（V/V）≥

99.999

99.995

99.99

N₂， 10^-6(V/V) ≤

4

20

40

O₂， 10^-6(V/V) ≤

1

5

10

CO₂， 10^-6(V/V) ≤

1

5

10

CO， 10^-6(V/V) ≤

0.3

0.5

1

SF₆， 10^-6(V/V) ≤

1

1

5

H₂O， 10^-6(V/V) ≤

1

5

10

HF， 10^-6(V/V) ≤

0.1

0.3

0.3

TFC(CH₂F₂、CHF₃、C₂F₃、C₃F₈)，10^-6(V/V) ≤

1

10

30

ppm (V/V) ≤

10

50

100