الشوائب

NF3≥99.995% المجلد%

NF3≥99.99% المجلد%

NF3≥99.98% المجلد%

NF3≥99.9% المجلد%

CF4

≥20 المجلد. جزء في المليون

≥40 المجلد. جزء في المليون

.100 المجلد. جزء في المليون

≥500 المجلد.جزء في المليون

N2

≥5 المجلد. جزء في المليون

≥5 المجلد. جزء في المليون

.10 المجلد. جزء في المليون

≥50 المجلد جزء في المليون

O2 + ع

≥3 المجلد. جزء في المليون

≥5 المجلد. جزء في المليون

.10 المجلد. جزء في المليون

≥50 المجلد جزء في المليون

ثاني أكسيد الكربون

≥1 المجلد. جزء في المليون

≥5 المجلد. جزء في المليون

.10 المجلد. جزء في المليون

.10 المجلد. جزء في المليون

ماء

≥1 المجلد. جزء في المليون

≥1 المجلد. جزء في المليون

≥1 المجلد. جزء في المليون

≥1 المجلد. جزء في المليون

HF

≥1 المجلد. جزء في المليون

≥1 المجلد. جزء في المليون

≥1 المجلد. جزء في المليون

≥1 المجلد. جزء في المليون

SF6

≥1 المجلد. جزء في المليون

≥2 المجلد. جزء في المليون

≥2 المجلد. جزء في المليون

≥25 المجلد. جزء في المليون

N2O

≥1 المجلد. جزء في المليون

≥5 المجلد. جزء في المليون

.10 المجلد. جزء في المليون

.10 المجلد. جزء في المليون

CO

.50.5 المجلد جزء في المليون

≥5 المجلد. جزء في المليون

.10 المجلد. جزء في المليون

.10 المجلد. جزء في المليون